主要特點:
1.平面面形精度、均勻度和平行度測量;激光棒的測量
2.平面參考面面形精度:λ/10
3.適用于工廠、研究院和高校等對光學元件的高精度檢測
4.采用光、機、電、算結合的系統軟件,可打印檢測報告
儀器規格參數表:
光源
進口氦氖激光器 波長λ=632.8nm
類型
菲索型干涉儀
有效光束直徑
φ=300mm
顯示
22寸液晶顯示器
精度
平面PV優于λ/10、RMS優于λ/200
測試參數
峰谷值PV/標準方差RMS、波前梯度均方根GRMS、功率譜密度PSD、Zernike多項式系數、Seidel像差系數、點列圖、點擴散函數PSF、調制傳遞函數MTF等
倍率
1-6倍
電源
220V 55Hz
可選附件
英特飛移相式數據處理軟件