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光學檢測儀和激光干涉儀
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“近紅外大口徑相移平面干涉儀”是一臺光、機、電、算相結合，融硬、軟件于一體的高精度、智能化、多功能、實時處理的大型測試儀器。
光機型干涉儀采用菲索型，光源為可調節近紅外激光器。干涉圖由近紅外CCD接收，在監視器上實時顯示，同時輸入到圖像捕獲器轉化成8bit的數字干涉圖，工計算機處理。
儀器配有下列軟件包：（一）相移干涉技術復原波面軟件包，（二）Zernike多項式分析軟件包，（三）波面分析與評價軟件，（四）繪圖和列表輸出軟件包。還配有數字濾波分析（低通、帶通、高通）、PSD等特性參數計算、Seidel像差分析功能軟件包。
儀器規格參數表：
光源
可調諧半導體激光器λ=1055nm
類型
菲索型干涉儀
倍率
1X、2X、3X獨立變倍，或1X-6X連續變倍
精度
PV優于λ/15（λ=1055nm）
測試重復性
1nm（1σ）
測試參數
峰谷值PV/標準方差RMS、波前梯度均方根GRMS、功率譜密度PSD、Zernike多項式系數、Seidel像差系數、點列圖、點擴散函數PSF、調制傳遞函數MTF等
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