專業生產、研究及開發各類光學檢測儀器和激光干涉儀企業
光學檢測儀和激光干涉儀
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3.平面參考面面形精度：λ/10、λ/20 可選
儀器規格參數表：
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光源 |
進口氦氖激光器 波長λ=632.8nm |
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類型 |
菲索型干涉儀 |
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有效光束直徑 |
φ=300mm |
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顯示 |
1024×1024高分辨率、低噪音CCD、22寸液晶顯示器 |
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精度 |
平面PV優于λ/10 |
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倍率 |
1-6倍 |
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尺寸 |
工作腔尺寸：440×440×265mm，外形尺寸：1100×810×1630mm |
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電源 |
220V 55Hz |
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可選附件 |
英特飛移相式數據處理軟件 |
南京英特飛光電技術有限公司
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